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Konferenzschrift
One-step fabrication of hierarchical structures
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2017
Poster
Title
One-step fabrication of hierarchical structures
Title Supplement
Poster presented at International Workshop on Advanced 3D Patterning, ad3pa 2017, Dresden, Germany, October 5-6, 2017
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Author(s)
Rumler, Maximilian
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Förthner, Michael
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Kollmuss, Manuel
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Baier, Leander
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Stumpf, Florian
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Becker, Marco
NanoWorld Services GmbH
Rommel, Mathias
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Frey, Lothar
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Conference
International Workshop on Advanced 3D Patterning (ad3pa) 2017
DOI
10.24406/publica-fhg-398274
File(s)
N-470535.pdf (5.65 MB)
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Rights
Under Copyright
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Keyword(s)
hierarchical structure
direct laser writing
nanoimprint lithography