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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Entwicklung eines Simulationstools für den Mikrosensor niedrigen Druckbereichs
 
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1993
Conference Paper
Title

Entwicklung eines Simulationstools für den Mikrosensor niedrigen Druckbereichs

Abstract
Durch ein geschicktes Kontinuieren von kommerzieller, Software und eigens entwickelten, auf das jeweilige Probleme zugeschnittene Interface-Programm läßt sich der Aufwand der Simulation des Verhaltens der mikromechanischen Niederdrucksensoren deutlich reduzieren und zum Teil vollautomatisieren, ohne daß die Rechengenauigkeit darunter leidet.
Author(s)
Hu, B.
Rüter, K.
Folkmer, B.
Lang, W.
Mainwork
Drittes Symposium Mikrosystemtechnik. Mikrosysteme für Verfahrens- und Fertigungstechnik. Tagungsband  
Conference
Mikrosystemtechnik 1993  
Language
German
IFT  
Keyword(s)
  • Drucksensor

  • finite elemente

  • Finite-Elemente-Methode (FEM)

  • niedriger Druckbereich

  • simulator

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