Ein hybrid integriertes infrarotoptisches Gasmesssystem

Ein System zur Analyse von Gasen aufgrund der selektiven Absorption von Infrarotstrahlung durch die Banden der Gasmoleküle wird vorgestellt. Das Kernstück des Systems ist ein domförmiger Doppelreflektor für den Meßstrahlengang und einen Vergleichskanal. Dieser optische Aufbau erlaubt eine relativ kleine Baugröße von 5x5x5 cm. Um Störeffekte und Driften zu kompensieren, arbeitet das Gerät mit einer pulsierenden Quelle, deren Intensität von der Elektronik mit Hilfe der Intensität des Vergleichskanals nachgeregelt wird. Als Lichtquellen werden Mikroglühlampen und mikromechanische Strahlungsquellen in Form geheizter Nitridmembranen verwendet. Als Detektoren dienen mikromechanische Bolometer, das dissipative Element ist ein Interferenzfilter. Bei Messungen an Kohlendioxid in Luft kann eine Konzentration von 0, 1 Prozent gut aufgelöst werden.