Spiegelmatrix-basierte Wellenfrontmessung

Für die funktionale und vollflächige Prüfung von optischen Komponenten und Systemen kommen üblicherweise Wellenfrontsensoren zum Einsatz, die an einer frei zugänglichen Ebene lateral zum Strahlengang des Systems die Wellenfrontsteigung ortsaufgelöst bestimmen können. Das hierfür typischerweise eingesetzte Messprinzip ist das des Shack-Hartmann-Sensors, dessen dynamische Reichweite und die davon abhängige Genauigkeit jedoch stark begrenzt sind. Für eine erhöhte Flexibilität und Messfähigkeit wurde ein Messprinzip entwickelt, welches auf einer digitalen Spiegelmatrix zur Abrasterung einer Wellenfront basiert und somit ein Analogon zur Hartmann-Methode darstellt.