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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Spektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingern
 
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2007
Conference Paper
Title

Spektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingern

Author(s)
Forke, R.
Scheibner, D.
Hiller, K.
Gessner, T.
Dötzel, W.
Mehner, J.
Mainwork
Mikro-System-Technik Chemnitz '07: Mikromechanik & Mikroelektronik  
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 2007  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS  
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
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