2023
Book Article
Title

Oxidation resistance and nanostructure of PECVD Ti-Si-C-N coatings

Author(s)
Thewes, Alexander
TU Braunschweig, Institut für Oberflächentechnik IOT
Paschke, Hanno  
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
Brückner, Tristan  
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
Sternemann, C.
TU Dortmund  
Paulus, M.
TU Dortmund  
Tillmann, W.
TU Dortmund  
Lopes Dias, N.F.
TU Dortmund  
Urbanczyk, J.
TU Dortmund  
Mainwork
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Language
English
Keyword(s)