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Oxidation resistance and nanostructure of PECVD Ti-Si-C-N coatings
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2023
Book Article
Title
Oxidation resistance and nanostructure of PECVD Ti-Si-C-N coatings
Author(s)
Thewes, Alexander
TU Braunschweig, Institut für Oberflächentechnik IOT
Paschke, Hanno
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Brückner, Tristan
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Sternemann, C.
TU Dortmund
Paulus, M.
TU Dortmund
Tillmann, W.
TU Dortmund
Lopes Dias, N.F.
TU Dortmund
Urbanczyk, J.
TU Dortmund
Mainwork
DELTA. Annual Report 2023
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Language
English
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Keyword(s)
coating
