Herstellung und Charakterisierung von gemahlenen CuNi- und NiCr-Legierungssuspensionen für das Aerosoldruckverfahren

Metallische Legierungen werden vielfach als Funktionswerkstoffe in der Sensorik eingesetzt. In der vorliegenden Arbeit wird die Nassmahlung als neues Verfahren zur Herstellung funktionaler Suspensionen für maskenlose Druckprozesse am Beispiel von Konstantan (CuNi44) und Nichrome (NiCr20) beschrieben. Der Einfluss der Zerkleinerungsparameter auf die Suspensionseigenschaften wird untersucht. Mittels Aerosoldruckverfahren werden aus den formulierten Suspensionen feinstrukturierte Dünnschichtsensoren hergestellt und durch eine thermische Nachbehandlung aktiviert. Aus der Kombination der beiden metallischen Suspensionen werden Thermoelemente gedruckt und in Bezug auf ihre Sensoreigenschaften charakterisiert.