Dynamikmeßverfahren für Abstandssensoren

Es wird ein Meßverfahren zur Bestimmung des Dynamikverhaltens (z.B.Frequenzgang oder Sprungantwort) von Abstandssensoren vorgestellt, bei dem als Testoberfläche die metallisierte Membran eines Lautsprechers verwendet wird. Der Lautsprecher wird durch einen programmierbaren Funktionsgenerator angesteuert und in einem Bewegungsregelkreis betrieben, so daß weitgehend beliebige Bewegungs-Testsignale mit hoher Genauigkeit erzeugt werden. Der maximale Hub liegt bei 8 mm bis zu einer Frequenz von 50 Hz. Im Kleinsignalbetrieb liegt die maximal nutzbare Frequenz bei 200 Hz. Als Anwendungsbeispiel wird ein Abstandsregelkreis für Laserschneidanlagen untersucht.