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Abschlussarbeit
Simulationsgestützte Untersuchung von logistischen Optimierungsstrategien bei Halbleiterfertigungsprozessen
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2012
Doctoral Thesis
Title
Simulationsgestützte Untersuchung von logistischen Optimierungsstrategien bei Halbleiterfertigungsprozessen
Thesis Note
Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2012
Author(s)
Pfeffer, M.
Publishing Place
Erlangen
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Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB