Kapazitive Dosierüberwachung für die Mikroschmierung von Präzisionslagern in Hochleistungsspindeln

Ein Mikrodosiersystem wird vorgestellt, das mit einer neuartigen Methode der Dosierüberwachung die Dosierung von niederviskosem Öl in Präzisionslager ermöglicht. Basierend auf einer kapazitiven Laufzeitüberwachung von Phasengrenzen zwischen Öl und Luft konnte in einem Mikrokanal ein Volumenstrom zwischen 21 nl/s und 50 nl/s erzeugt werden. Die Zweiphasenströmung wird mittels zweier Silizium-Mikromembranpumpen erzeugt.