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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. DUV-reflective coatings and novel actuator materials for light modulator arrays
 
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2006
Presentation
Title

DUV-reflective coatings and novel actuator materials for light modulator arrays

Title Supplement
Presentation held at the Photonics West Conference 2006, 21 - 26 January 2006, San Jose, California
Author(s)
Schmidt, Jan-Uwe  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Friedrichs, Martin  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Sandner, Thilo  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Heber, Jörg  
Rudloff, Dirk  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Lakner, Hubert  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Yang, M.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
Gatto, A.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
Kaiser, Norbert  
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
Conference
Photonics West Conference 2006  
File(s)
Download (3.91 MB)
Rights
Use according to copyright law
DOI
10.24406/publica-fhg-351737
Language
English
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Keyword(s)
  • MOEMS

  • DUV reflective coating

  • lithography

  • SLM

  • low-creep actuator

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