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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Silizium-Halbleitertechnologie. Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik. 6., korr. und verb. Aufl.
 
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2014
Book
Title

Silizium-Halbleitertechnologie. Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik. 6., korr. und verb. Aufl.

Author(s)
Hilleringmann, U.
Publisher
Springer Vieweg  
Publishing Place
Wiesbaden
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS  
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