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Konferenzschrift
Waferlevel-Vakuum gekapselte 2D-Mikrospiegel-Scanner für kompakte Laserprojektions-Displays im Automobil
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2009
Conference Paper
Title
Waferlevel-Vakuum gekapselte 2D-Mikrospiegel-Scanner für kompakte Laserprojektions-Displays im Automobil
Author(s)
Hofmann, U.
Baumann, S.
Oldsen, M.
Janes, J.
Wagner, B.
Mainwork
MikroSystemTechnik Kongress 2009. Proceedings. CD-ROM
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2009
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT