Der Entwurf von Komponenten heterogener Systeme und von Mikrosystemen wie Sensoren und Aktoren wird durch FEM-Programme wie ANSYS gut unterstützt. Wechselwirkungen zwischen unterschiedlichen physikalischen Bereichen werden teilweise von diesen Programmen berücksichtigt. Um jedoch komplexere Systeme simulieren zu können, werden Verhaltensmodelle dieser Komponenten für Systemsimulatoren benötigt. Im folgenden wird gezeigt, wie derartige Modelle in Beschreibungssprachen wie MAST, HDL-A und VHDL-AMS aus FEM-Beschreibungen abgeleitet werden können. Grundlage bilden dabei einerseits die analytischen Beschreibungen finiter Elemente, andererseits numerische Werte der von FEM-Programmen aufgestellten Systemmatrizen.
