Intelligent tools: Novel technology for in-process measurement of pressure distribution on optical functional surfaces

Ziel des Forschungsvorhabens ist die Entwicklung eines Werkzeugkonzeptes, welches die Steuerung des Polierdruckes auf optischen Oberflächen bzw. Halbleitermaterialien automatisiert. Ergebnis sind intelligente Werkzeuge, die Parameter ihrer Umgebung erkennen und sich diesen anpassen können. Durch Integration von Sensoren und Aktoren werden die mechanischen und/oder thermischen Parameter aufgenommen und mögliche Abweichungen von definierten Grenzwerten analysiert. Bei Überschreitung der Grenzwerte initieren die Aktoren über elektronische Steuersysteme eine Veränderung am Werkzeug und regeln die Parameter in Richtung Sollwert.