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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Magnetronsputtern - Innovationsmotor seit vier Jahrzehnten!. Editorial
 
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2017
Editorial
Title

Magnetronsputtern - Innovationsmotor seit vier Jahrzehnten!. Editorial

Other Title
Magnetron sputtering - Driver of innovation for four decades!
Author(s)
Bräuer, G.
Journal
Vakuum in Forschung und Praxis  
DOI
10.1002/vipr.201770401
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Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
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