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2019
Conference Paper
Title
Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid
Other Title
Piezoelectric micromirror with large scan angle, based on thin film aluminum nitride
Abstract
Im Rahmen dieser Veröffentlichung werden mittels piezoelektrischem Dünnschicht-Aluminiumnitrids (AlN) aktuierte Mikrospiegel vorgestellt. Die Mikrosysteme mit 6 mm2 Footprint werden monolithisch in einer 150 mm SOI-Technologie hergestellt. Mithilfe von finiter Element-Modellierung wird eine Optimierung der Hebelarmparameter zur Maximierung des Auslenkwinkels durchgeführt. Ein maximaler Scanwinkel von 104,9 Grad wird bei 20 V und 1,9 kHz erreicht.
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Conference