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2010
Journal Article
Title
Selektives Laserätzen von Glas und Saphir
Abstract
Um Mikrokanäle und Bauteile in Glas und Saphir herstellen zu können, steht mit dem selektiven Laserätzen jetzt ein neues Verfahren bereit. Um deutlich höhere ÄTZRATEN zu erreichen, wird das Material mithilfe von ultrakurzen Laserpulsen modifiziert.