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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Atomistische Beschreibung der Diffusion von Dotieratomen und Gitterleerstellen in Silicium
 
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1997
Doctoral Thesis
Title

Atomistische Beschreibung der Diffusion von Dotieratomen und Gitterleerstellen in Silicium

Thesis Note
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1997
Author(s)
List, S.
Publisher
Shaker  
Publishing Place
Aachen
Language
German
IIS-B  
Keyword(s)
  • diffusion

  • Dotan

  • Gitterleerstelle

  • Siliciumhalbleiter

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