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Abschlussarbeit
Untersuchungen zur Positionsdetektion von resonanten Mikroscannerspiegeln mittels miniaturisierter / integrierter Sensoren
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2006
Diploma Thesis
Title
Untersuchungen zur Positionsdetektion von resonanten Mikroscannerspiegeln mittels miniaturisierter / integrierter Sensoren
Thesis Note
Dresden, TU, Dipl.-Arb., 2006
Author(s)
Schuster, T.
Publishing Place
Dresden
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS