Ein Modellierungsansatz zur Einbeziehung mechanischer Mikrosystemkomponenten in die Systemsimulation

In der Mikrosystemtechnik werden modernste Technologien eingesetzt, um sehr komplexe Systeme auf engstem Raum zu integrieren. Der Entwurf stellt dabei aufgrund domänenübergreifender Problemstellungen sowie eng gekoppelter Wechselwirkungen zwischen den Systemkomponenten einen komplizierten Prozeß dar. Bereits frühzeitig muß das Zusammenspiel der Mikrosystemkomponenten durch Systemsimulationen analysiert werden. Im Beitrag wird ein Modellierungsansatz vorgestellt, der die Einbeziehung mechanischer Mikrosystemkomponenten in die Systemsimulation mit dem Schaltkreis- und Systemsimulator SABER ermöglicht. Der Ansatz beruht auf der Bereitstellung von Modellen für mechanische Grundelemente und dem Zusammensetzen komplexer Mikrosystemkomponenten aus diesen Elementen. Erste Arbeitsergebnisse werden am Beispiel eines Resonanzsensors vorgestellt.