2020
Doctoral Thesis
Title

Mechanische gekoppelte mikroelektromechanische Ultraschallwandler

Thesis Note
Dresden, TU, Diss., 2020
Author(s)
Krenkel, Marcel  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Advisor(s)
Richter, A.
Gerlach, G.
Publishing Place
Dresden
Language
German