Automatisierte Ermittlung von Partikelkontamination. Integrierbare Softwarelösung als Voraussetzung

Die Überwachung der Partikelkontamination in Fertigungen im Reinraumbereich gewinnt durch ständig wachsende Anforderungen mehr und mehr an Bedeutung. Den Anforderungen kann häufig nur eine automatisierte Meßdatenerfassung und -verarbeitung gerecht werden, wobei auch die Integrationsfähigkeit in heterogenen Systemen eine wichtige Rolle spielt. Dieser Beitrag zeigt am Beispiel der Equipmentqualifizierung durch Partikelmessungen, wie ein für den Anwender integrierbares, automatisiertes Meß- und Auswertsystem konzipiert und realisiert wurde. Eine der Neuheiten besteht darin, daß Partikelzähler unterschiedlicher Hersteller in einem System einsetzbar sind. Das entwickelte System wird seit über einem Jahr in den Labors des IPA-Prüfzentrums erfolgreich eingesetzt.