2014
Conference Paper
Title

Kombination von Laser- und MEMS Technologieprozessen fuer Integrationsstrategien von rolled-up Nano-Architekturen

Author(s)
Helke, Christian
Enderlein, Tom  
Harazim, S.
Nestler, J.
Otto, Thomas  
Schmidt, O.G.
Geßner, Thomas  
Mainwork
Conference
Language
German