Sensoren und Mikroelektronik

Der zunehmende Einsatz der Datenverarbeitung zum Messen, Steuern und Regeln in vielen Bereichen, hat zu einem hohen Bedarf an Sensoren geführt. Der Sensor soll möglichst ein Ausgangssignal liefern, das direkt von einem Datenverarbeitungsgerät verarbeitet werden kann. Diese Anforderungen lassen sich gut erfüllen, wenn die Sensoren in den Technologien der Mikroelektronik gefertigt werden. In dieser Übersicht werden die Technologien der Mikroelektronik, Dickschichttechnologie, Dünnfilmtechnologie und Siliziumtechnologie vorgestellt und in Bezug auf ihre Anwendung für den Bereich der Sensorik verglichen. Exemplarisch werden neuere Entwicklungen von Sensoren vorgestellt, die mit diesen Technologien hergestellt werden.