Trends bei Laseranwendungen in Mikro- und Elektrotechnik

Die Herstellung und Verarbeitung mikrotechnischer Bauteile war in der Vergangenheit überwiegend in Technologien angesiedelt, die aus der Elektronikproduktion entlehnt war. Hier seien vor allem die auf Silizium basierenden Verfahren genannt, mit denen eine Reihe von exzellenten mikrotechnischen Produkten der Sensorik hergestellt werden können. Da sich in der jüngsten Zeit der Trend zur Miniaturisierung auch auf andere Bereiche und Produkte, wie z. B. die Medizintechnik, die Automobil-Zulieferindustrie, die Optik und die chemische Analytik ausdehnt und hier der Werkstoff Silizium aus unterschiedlichen Gründen nicht zum Einsatz kommen kann, sind andere Herstellungsverfahren für mikrotechnische Produkte gefragt. Hier ist insbesondere die Lasertechnik gefragt, die bei kleiner werdenden Geometrien und steigender WerkstoffvielfaIt zu einem wichtigen Werkzeug in der Herstellung mikrotechnischer und elektrotechnischer Produkte wird. Vor allem durch die Verfügbarkeit neuer Strahlquellen, wie diodengepumpter Festkörperlaser, Diodenlaser, Kurzpulslaser und dem höheren Reifegrad der noch vor kurzem als Wissenschaftler-Laser bezeichneten Excimerlaser ergeben sich neue Fertigungsmögilchkeiten mit bis dahin nicht erreichbaren Bearbeitungsdimensionen. Dadurch eröffnen sich für viele Anwender neue Produktfelder und Geschäftszweige mit großer Breitenwirkung und zukunftsweisenden Entwicklungslinien.