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2010
Conference Paper
Title
Oxidische Mischschichten für UV-Anwendungen
Abstract
Die optischen und nichtoptischen Eigenschaften von Mischschichten aus Hafniumoxid, Zirkonoxid und Aluminiumoxid werden vorgestellt und diskutiert. Es wird gezeigt, dass mit PIAD - Verfahren (APS pro) optisch homogene UV- transparente Mischschichten präparierbar sind.