Charakterisierung von Betriebsmitteln für reine Anwendungen

- Problemstellung und Motivation - Ziel: Beurteilung der Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln - Grundlagen - kritische Kontaminationen (Überblick) - Reinheits- und Reinraumtauglichkeit - Einflussfaktoren auf die Reinraumtauglichkeit - Grundvoraussetzung Versuchsinfrastruktur - Produktionskette - Einzelne Komponenten des Betriebsmittels - Vorgehensweise der Reinraumtauglichkeits-Klassifizierung (VDI 2083, Blatt 9.1) - Beispiele: Untersuchungen an repräsentativen Betriebsmitteln - Zusammenfassung