Reaktives Magnetronsputtern von transparenten und leitfähigen Oxidschichten

Transparente und leitfähige Oxide (TCOs) vereinen die optischen Eigenschaften von dielektrischen Materialien mit den elektrischen Eigenschaften von Metallen. Dadurch erfüllen TCO-Schichtsysteme Schlüsselfunktionen für zahlreiche optoelektronische Anwendungen. Erst das reaktive Magnetronsputtern bietet eine Möglichkeit, um derartige Schichtsysteme mit hoher Qualität kostengünstig und großflächig herzustellen.