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Abschlussarbeit
Mikrowellen-Plasmareaktoren für die Niederdruck-Diamantabscheidung
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1999
Doctoral Thesis
Title
Mikrowellen-Plasmareaktoren für die Niederdruck-Diamantabscheidung
Thesis Note
Freiburg/Brsg., Univ., Diss., 1999
Author(s)
Füner, M.
Publishing Place
Freiburg/Brsg.
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Keyword(s)
CVD-Diamant
Mikrowellen
plasma
plasmareaktor
simulation