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Konferenzschrift
Mechanische Zuverlässigkeit von Werkstoffverbunden in der Mikrosystemtechnik
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1999
Conference Paper
Title
Mechanische Zuverlässigkeit von Werkstoffverbunden in der Mikrosystemtechnik
Author(s)
Michel, B.
Reichl, H.
Mainwork
Werkstoffwoche '98. Bd.1: Symposium 1: Werkstoffe für die Informationstechnik. Symposium 12: Mikrosystemtechnik
Conference
Werkstoffwoche 1998
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM