Diagnostic data acquisition (DDA) data collection management standards (overview and status)

In der Präsentation wird der Status bei der Internationalen Standardisierung in der Automatisierung der Halbleiterfertigung gezeigt. Darunter die folgenden Themen: SEMI 134 Data Collection Management, u.a. Operationen, Data Collection Pläne, Data Collection Reports, mögliche Szenarien. Dieser Standard regelt Datenformate und Schnittstellen bei der Ausgabe u.a. von Diagnose Daten und Parametern in der Halbleiterproduktion.