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Piezoresistive Drucksensoren für Hochtemperatur-Anwendungen
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1994
Book Article
Title
Piezoresistive Drucksensoren für Hochtemperatur-Anwendungen
Author(s)
Burbach, G.
Mainwork
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1993
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
