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Konferenzschrift
Selbstausbreitende exotherme Reaktionen als interne Wärmequelle für die Aufbau- und Verbindungstechnik von Mikrosystemen
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2010
Conference Paper
Title
Selbstausbreitende exotherme Reaktionen als interne Wärmequelle für die Aufbau- und Verbindungstechnik von Mikrosystemen
Author(s)
Bräuer, J.
Böttge, B.
Wiemer, Maik
Petzold, M.
Geßner, Thomas
Mainwork
Mikro-Nano-Integration. CD-ROM
Conference
Workshop Mikro-Nano-Integration 2010
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS