2019
Diploma Thesis
Title

Ein Beitrag zum Entwurf vibrationsbelasteter Microscanner

Thesis Note
Dresden, TU, Dipl.-Arb., 2019
Author(s)
Kiethe, Oliver
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Advisor(s)
Schroedter, Richard
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Todt, Ulrich  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Person Involved
Janschek, Klaus
Publishing Place
Dresden
Language
German