2003
Presentation
Title

Ein mikromechanisches, durchstimmbares Fabry-Perot-Filter für die nichtdispersive Gasanalytik im Spektralbereich (3 5) µm

Author(s)
Neumann, N.
Heinze, M.
Stegbauer, H.-J.
Hiller, Karla  
Kurth, Steffen  
Conference
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DOI
Language
German