Fertigungsintegrierte Ultrapräzisionsmessung bei der Produktion optischer Komponenten

Die Charakterisierung von Formabweichungen ultrapräziser Oberflächen mit interfero-metrischen Verfahren in separaten Messlaboren hat sich bei der Herstellung von Optikkomponenten durchgesetzt. Eine Integration dieser Verfahren in die Bearbeitungsmaschine wird derzeit noch nicht praktiziert, obwohl damit erheblich verkürzte Durchlaufzeiten möglich sind. Außerdem können mit diesem Ansatz NC-Datensätze on-line korrigiert werden, sodass die Maschinenintegration besonders bei der kostenintensiven Herstellung der Formeinsätze für das Blankpressen von Optikkomponenten zur Reduktion der Kosten führen kann. In diesem Beitrag wird eine Übersicht über optische Messverfahren für die Prüfung von kontinuierlichen und mikrostrukturierten Optikkomponenten und Formeinsätzen gegeben. Des Weiteren werden Untersuchungen zum Einfluss der Umgebungsbedingungen auf das Messergebnis eines maschinenintegrierten Formprüfinterferometers in einer Bearbeitungs-maschine vorgestellt.