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2016
Presentation
Title
Stamps for nanoimprint lithography - R&D at Fraunhofer IISB
Title Supplement
Presentation held at NIL Industrial Day 2016, Vienna, March 10th - 11th, 2016
Author(s)
Förthner, Michael
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Scharin, Marina
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Conference