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April 2010
Report
Title
Produktionsrelevante PECVD-Verfahren mit optimierten Precursoren zur a-C:H-Abscheidung mit hoher Rate
Title Supplement
Gemeinsamer Abschlussbericht für das AIF-Forschungsvorhaben IGF 15221 BG. Vorhaben vom 01.06.2007 bis 31.12.2009
Person Involved
Corporate Author
TU Chemnitz, Institut für Physik -PHFK-
Project(s)
Produktionsrelevante PECVD-Verfahren mit optimierten Precursoren zur a-C:H-Abscheidung mit hoher Rate