Superharter Kohlenstoff abgeschieden mit gepulstem Hochstrombogen als Nanoschutzschicht für Magnetspeicherplatten

Superharte amorphe Kohlenstoffschichten (ta-C), die mit gepulstem Hochstrombogen (High-Current Arc, HCA) abgeschieden werden, besitzen ein hohes Potential als zukünftige ultradünne Schutzschichten für Magnetspeicherplatten. Die ta64979 C-Schichten erfüllen alle wesentlichen Anforderungen, die in mechanischer, chemischer und tribologischer Hinsicht an 2-3 nm dicke Verschleiß- und Korrosionsschutzschichten gestellt werden. Auch die Beschichtungstechnik ist aus jetziger Sicht für die Massenproduktion geeignet. Damit bestehen sehr gute Aussichten, daß in naher Zukunft die Hochstrombogenverdampfung die Methode der Wahl für die Kohlenstoffabscheidung in der industriellen Festplattenproduktion darstellt.