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Micro- and nanosystem technologies on CMOS
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2011
Book Article
Title
Micro- and nanosystem technologies on CMOS
Author(s)
Vogt, H.
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Ruß, M.
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Mainwork
Fraunhofer-Institute for Microelectronic Circuits and Systems. Annual Report 2010
Language
English
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
