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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Ablenkung von Lichtstrahlen durch eine Objektstruktur oder ein Medium
 
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2013
Study
Title

Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Ablenkung von Lichtstrahlen durch eine Objektstruktur oder ein Medium

Abstract
Die vorliegende Veröffentlichung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur ortsaufgelösten Bestimmung der Ablenkung von Lichtstrahlen durch eine Objektstruktur oder ein Medium, bei dem ein Oberflächenbereich eines Objekts oder ein Bereich des Mediums mit wenigstens einem optischen Muster beleuchtet wird und an dem Oberflächenbereich reflektierte oder durch den Oberflächenbereich oder den Bereich des Mediums hindurchgetretene Beleuchtungsstrahlen mit einem ortsauflösenden optischen Detektor erfasst werden.
Corporate Author
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie -IISB-, Erlangen
Publishing Place
Erlangen
File(s)
Download (6.07 MB)
Rights
Use according to copyright law
DOI
10.24406/publica-fhg-296541
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • Ablenkung von Lichtstrahlen

  • optisches Muster

  • spiegelnde Oberflächen

  • Ebenheit

  • Qualitätssicherung

  • Unebenheiten

  • quantitative Ablenkungsmessung

  • quantitative Neigungsmessung

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