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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Hochgeschwindigkeitsmikroskopie zur Qualitätskontrolle
 
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2016
Journal Article
Title

Hochgeschwindigkeitsmikroskopie zur Qualitätskontrolle

Title Supplement
Piezoantriebe in echtzeitfähigen Autofokus-Systemen erweitern das Anwendungsspektrum von Mikroskopieverfahren
Abstract
Viele großflächige Objekte müssen zur Qualitätskontrolle auf mikroskopisch kleine Details untersucht werden. Vor allem wenn hohe Auflösung gefordert ist, können konventionelle Mikroskopieverfahren nicht mit der Geschwindigkeit der heute üblichen Automatisierungstechnik Schritt halten. Dank neuer Hochdurchsatz-Mikroskopiesysteme hat sich das nun geändert. Piezoaktoren als Antriebe in ihren echtzeitfähigen Autofokus-Systemen spielen dabei eine Schlüsselrolle.
Author(s)
Schenk, Friedrich
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT  
Arnold, Steffen
Physik Instrumente GmbH & Ko. KG
Reiff, Ellen-Christine
Redaktionsbüro Stutensee
Journal
Inspect  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT  
Keyword(s)
  • Automatisierung

  • Bildverarbeitung

  • machine vision

  • Messtechnik

  • metrology

  • optical metrology

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