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Konferenzschrift
Unterstützung des Designprozesses für Mikrofonsensoren mit Hilfe von Finite-Elemente-Analysen
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2003
Conference Paper
Title
Unterstützung des Designprozesses für Mikrofonsensoren mit Hilfe von Finite-Elemente-Analysen
Author(s)
Sommer, J.-P.
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
Wang, B.
Mainwork
9. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2003. Tagungsband
Conference
Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2003
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM