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Abschlussarbeit
Experimentalaufbau zur Messung vertikaler Oberflächen von mikromechanischen Aktoren am DHM
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2016
Bachelor Thesis
Title
Experimentalaufbau zur Messung vertikaler Oberflächen von mikromechanischen Aktoren am DHM
Thesis Note
Cottbus-Senftenberg, TU, Bachelor Thesis, 2016
Author(s)
Lemcke, Klaus Benjamin
Publishing Place
Cottbus-Senftenberg
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS