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Abschlussarbeit
Untersuchungen zum Kohlkatoden-Gasstromsputtern am Beispiel von Al2O3-Schichten
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1993
Diploma Thesis
Title
Untersuchungen zum Kohlkatoden-Gasstromsputtern am Beispiel von Al2O3-Schichten
Thesis Note
Wedel, FH, Dipl.-Arb., 1993
Author(s)
Heide, V. von der
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST