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Konferenzschrift
Abscheidung transparenter abriebfester Schichten auf Kunststoff- und Metallsubstraten durch plasmaaktivierte PVD-Hochratebeschichtung
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2005
Conference Paper
Title
Abscheidung transparenter abriebfester Schichten auf Kunststoff- und Metallsubstraten durch plasmaaktivierte PVD-Hochratebeschichtung
Author(s)
Morgner, H.
Metzner, C.
Rögner, F.-H.
Zywitzki, O.
Mainwork
Schichten auf Glas und Polymeren - neue Anwendungen für Optik, Elektronik und Umwelt
Conference
Congress Industrielle Oberflächentechnik 2005
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP