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Konferenzschrift
Gepulste Hochleistungs-PVD-Verfahren
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2010
Conference Paper
Title
Gepulste Hochleistungs-PVD-Verfahren
Author(s)
Bandorf, R.
Mainwork
Gepulste hochionisierte Plasmen - von der Grundlage zur Anwendung
Conference
Workshop "Gepulste hochionisierte Plasmen - von der Grundlage zur Anwendung" 2010
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST