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1999
Conference Paper
Title
Qualitätssicherung von dünnen Schichten mittels Präzisionsverschleißmessung
Abstract
Das hier vorgestellte Prüfverfahren zeichnet sich hauptsächlich dadurch aus, daß eine quantitative Bewertungsgröße zur Materialcharakterisierung mit hoher Reproduzierbarkeit zur Verfügung steht. Da der Abrasivverschleiß von physikalischen und chemischen Eigenschaften des Werkstoffes beeinflußt wird, kann das Verfahren zur Qualitätskontrolle und Werkstoffentwicklung eingesetzt werden.
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