Mikroelektronik liefert Grundlagen für Mikropumpen

Bei Mikropumpen gibt es mehrere verschiedene Funktionsprinzipien. Den meisten derzeit in Entwicklung befindlichen Pumpen ist gemeinsam, daß ein Großteil ihrer Einzelteile aus Silizium gefertigt wird. Da dieser Werkstoff seit vielen Jahren in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Elektronikchips benutzt wird, kann die Siliziummikromechanik dabei weitgehend auf die Methoden und Werkzeuge der Mikroelektronik zurückgreifen. Zur Realisierung dieser Bauelemente werden derzeit sehr unterschiedliche Antriebsprinzipien mit verschiedenen Herstellungsverfahren und Ventilvarianten kombiniert. Im Rahmen dieses Artikels soll ein Überblick über die vielfältigen Kombinationen aus Antriebsmechanismen und Ventilarten bei miniaturisierten Verdrängerpumpen gegeben werden. Dabei erkennt man an neueren Entwicklungen, daß neben Silizium zunehmend auch andere Materialien wie zum Beispiel Kunststoffe in der Mikrosystemtechnik zum Einsatz kommen.